Day 17:预测性维护 + 过程曲线质量预测
对应原:
原 Day 33 + Day 34
学习内容:
Remaining Useful Life
设备退化曲线
健康状态预测
真空系统风险
源炉风险
温控系统风险
chamber 维护预测
项目:
MBE Run Quality Predictor
交付物:
输入一次 run 的多变量曲线
输出质量风险
标记异常时间段
解释异常变量
对应原:
原 Day 33 + Day 34
学习内容:
Remaining Useful Life
设备退化曲线
健康状态预测
真空系统风险
源炉风险
温控系统风险
chamber 维护预测
项目:
MBE Run Quality Predictor
交付物:
输入一次 run 的多变量曲线
输出质量风险
标记异常时间段
解释异常变量